·PR500/510等離子灰化機
高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm
低溫等離子·經典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
用途
·去除光刻膠
·部品清洗
·界面活性處理
·微研磨
·硅晶圓，玻璃基板對應
特征
·大口徑（Φ215mm）石英反應腔
·小型一體化設計
·操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
規格
|
型號 |
PR500 |
PR510 |
|
|
模式 |
DP模式，桶型 |
||
|
控制部 |
高頻輸出功率 |
Max500W |
|
|
頻率 |
13.56MHz |
||
|
同調方式 |
自動協調 |
||
|
反應部 |
反應腔 |
石英 Φ215×305mm |
|
|
反應氣體 |
2系統（O2／CF4） |
||
|
控制 |
手動 |
觸摸屏自動控制 |
|
|
配管材質 |
不銹鋼、特氟龍 |
||
|
外形尺寸 |
W438×D520×H760mm |
參照規格書 |
|
|
重量 |
約60kg |
參照規格書 |
|
|
電源 |
單相AC100V 9A |
三相AC200V 8A |
|
微信掃碼 關注我們
Copyright © 2018-2022 柜谷科技發展（上海）有限公司 版權所有 地址：上海市浦東新區曹路鎮金海路2588號B217室 備案號：
