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等離子灰化機 PR200/300/301

發布時間：2019-02-22 15:39:17瀏覽次數：次
從樣品表面改質到清洗的小型臺式等離子清洗機
用途
●  高分子材料表面的官能基付與→粘合性、密著性提高。通   過氧化反應，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能   基（微量的水分及二氧化碳影響）。   同樣在氮氣等離子體中，氮原子被吸收在表面中，生   成-NH 2等官能基。
●  硅晶圓蝕刻。
●  材料表面改性（金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
●  石棉預處理（膜過濾灰化）。
●  從電子設備到生化市場。
●  低溫灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
●  使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
●  表面有機物去除
特點
●  RF為200 W的高性能輸出類型（PR200）。
●  由于是尺寸緊湊的臺式機，很小的位置都可以安裝。
●  同步，自動調諧，操作簡單（PR200）。
●  等離子體反應器（灰化設備）（PR200）。
●  同步、自動調諧（PR200）。

反應腔

［例］石棉分析前處理

規格

型號

PR200

PR300

PR301

模式

DP模式，桶型

控制部

高頻輸出

Max300W

頻率

13.56MHz

同調方式

手動2軸同調方式

反應部

反應腔

耐熱玻璃 Φ100×160mm

超硬質玻璃 Φ64×160mm×3室

耐熱玻璃 Φ118×160mm

反應氣體

1系統（氧氣）流量計

控制

手動密閉閥

自動減壓、自動密閉閥

配管材質

不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W350×D400×H500mm

W438×D520×H556mm

W438×D520×H630mm

重量

約10kg

約36kg

約34kg

電源

AC100V 15A

AC100V 7A

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