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潔凈厭氧高溫氣氛爐 C1-008

發布時間(jian):2019-02-01 17:22:02瀏覽次數:
用途:光刻工藝后段,光刻膠固化

特點
•最高工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm以下。
•程序運轉功能,有自動/手動兩種操作模式。
•快速升溫、降溫,降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。
•配置了自動門鎖、數字式壓力表、數字式流量計等。
•全不銹鋼材質。
•在安全方面,配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置。

技術規格


型號

潔凈厭氧高溫氣氛爐 C1-008   

溫度范圍

室溫+30360

室溫+50500

溫度分布精度

±4.0℃(at 360℃)    

±8.0℃(a500℃)

溫度上升時間

60min(室溫→360℃)      

90min(室溫→500℃)

溫度下降時間

90min360℃→50℃)     

120min500℃→50℃)

氧濃度

20ppm以下  

氧濃度下降時間

45分鐘  

潔凈度

100

裝備

氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等

尺寸(cun)

W600×D600×H600mm    

電源

3AC380V

 



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