型號

YSP63FA

模式

RIE（DP模式選購）

高頻輸功率

600W

反應臺尺寸

W385×D362mm

內腔尺寸

W395×D378×H45mm（內尺寸）

反應氣體

2進氣系統（氧氣、氬氣）

反應氣體流量控制

質量流量控制器

真空泵

旋轉式真空泵（約500L/min）

氣體導入口

反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

外形尺寸

W1860×D1100×H1800mm