產品簡介
專用掃(sao)描透射顯(xian)(xian)微(wei)(wei)(wei)鏡(jing)(jing)(jing)HD-2700，配備了(le)(le)與德國CEOS GmbH公司（總(zong)經理Max Haider先(xian)生）共同(tong)開發的球(qiu)差(cha)(cha)校(xiao)正(zheng)儀，顯(xian)(xian)著提高了(le)(le)掃(sao)描透射電(dian)子顯(xian)(xian)微(wei)(wei)(wei)鏡(jing)(jing)(jing)的性(xing)(xing)能，更(geng)適合高級納米技術研究。由(you)于球(qiu)差(cha)(cha)校(xiao)正(zheng)系統校(xiao)正(zheng)了(le)(le)限制電(dian)子顯(xian)(xian)微(wei)(wei)(wei)鏡(jing)(jing)(jing)的性(xing)(xing)能的球(qiu)差(cha)(cha)，使其與標準型號顯(xian)(xian)微(wei)(wei)(wei)鏡(jing)(jing)(jing)相比，分辨率(lv)提高了(le)(le)1.5倍，同(tong)時(shi)，探針(zhen)電(dian)流提高了(le)(le)10倍。
最近，該顯微(wei)鏡(jing)還(huan)配(pei)備(bei)了高分(fen)(fen)辨(bian)率鏡(jing)頭(tou)和冷場發射(she)電(dian)子槍，進(jin)一(yi)步提高了圖像分(fen)(fen)辨(bian)率和電(dian)子束能量分(fen)(fen)辨(bian)率。同時，該型(xing)號系(xi)列還(huan)增加了一(yi)款(kuan)不帶球差(cha)校正的主(zhu)機配(pei)置，可以以后加配(pei)球差(cha)校正進(jin)行升級。
特點
高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像
HAADF-STEM圖像0.136nm，FFT圖像0.105nm（高分辨率鏡頭（*））
HAADF-STEM圖像0.144nm（標準鏡頭）
明場掃描透射電子顯微鏡圖像0.204nm（w/o球差校正儀）
高速，高靈敏度能譜分析：探針電流×10倍
元素面分布更迅速及時
低濃度元素檢測
操作簡化
自動圖像對中功能
從樣品制備到觀察分析實現無縫連接
樣品桿與日立聚焦離子束系統兼容
配有各種選購件可執行各種評估和分析操作
同時獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布（*） 和DF/EELS面分布（*）圖像。
低劑量功能（*）（使樣品的損傷和污染程度降至最低）
高精度放大校準和測量（*）
實時衍射單元（*）（同時觀察暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案）
采用三維微型柱旋轉樣品桿（360度旋轉）（*），具有自動傾斜圖像獲取功能。
ELV-3000即時元素面分布系統（*）（同時獲取暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像）
（*） 選購件
技術指標
HD-2700球差校正掃描式透射電子顯微鏡
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項目
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描述
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圖像分辨率 |
w/o球(qiu)差校正儀
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保證 0.204nm（當放大倍數為4,000,000時） |
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w球差校正(zheng)儀 |
保證 0.144 nm（當放大倍數為7,000,000時）（標(biao)準鏡頭） |
保證 0.136nm（HAADF圖像）
保證0.105 nm（通過FFT）（當放大倍數為7,000,000時）（高分辨率鏡頭（*）） |
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放(fang)大(da)倍數 |
100倍 至(zhi) 10,000,000倍 |
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加速(su)電壓 |
200 kV, 120 kV （*） |
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成像(xiang)信(xin)號(hao) |
明場掃描透射電子顯微鏡：相襯圖像（TE圖像）
暗場掃描透射電子顯微鏡：原子序數襯度圖像（Z襯度圖像）
二次電子圖像（SE圖像）
電子衍射（*）
特征X射線分析和面分布（能譜分析）（*）
電子能量損失譜分析和面分布（EV3000）（*） |
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電(dian)子光(guang)學系統 |
電子(zi)源(yuan) |
肖特基發(fa)射電子(zi)源 |
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冷場致發射器（*） |
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照明透鏡系統 |
2-段聚(ju)光鏡鏡頭 |
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球差校正儀（*） |
六極鏡(jing)頭設計 |
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掃描線(xian)圈(quan) |
2-段式(shi)電磁感應線(xian)圈(quan) |
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原(yuan)子序數襯度收集角控(kong)制 |
投影鏡設計 |
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電磁圖像位(wei)移 |
±1 μm |
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試片鏡(jing)臺(tai) |
樣(yang)品移(yi)動 |
X/Y軸 = ±1 mm, Z軸 = ±0.4 mm |
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樣品傾(qing)斜 |
單軸-傾斜樣品桿：±30°（標準鏡頭）, ±18°（高分辨率鏡頭（*）） |
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真空系(xi)統 |
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3個離子泵(beng)，1個TMP |
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極(ji)限真(zhen)空 |
10-8 Pa（電子槍）, 10-5 Pa（樣品室） |
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圖像顯(xian)示 |
個人(ren)電(dian)腦／操作系統(tong) |
PC/AT兼容, Windows® XP |
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監視器 |
19-inch液晶顯示器面板 |
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圖像幀尺寸 |
640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素 |
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掃描速度 |
快(kuai)掃，慢掃（0.5至320秒(miao)／幀） |
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自動數據顯示 |
記(ji)錄序號(hao)，加(jia)速電壓，下標尺(chi)，日期，時間(jian) |
注(zhu)：該(gai)儀器(qi)未取得中華人民共和國(guo)醫療器(qi)械注(zhu)冊證，不(bu)可用于臨床診斷(duan)或(huo)治療等相關(guan)用途(tu)
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