AFM5500M是操作性和(he)測量(liang)精(jing)度大幅提(ti)高(gao)，配備4英寸(cun)自(zi)動(dong)馬達臺的全自(zi)動(dong)型原(yuan)子力顯微(wei)鏡。設備在懸臂更換，激光對中(zhong)，測試參(can)數設置等環(huan)節(jie)上(shang)提(ti)供全自(zi)動(dong)操作平臺。新(xin)開發的高(gao)精(jing)度掃描(miao)器(qi)和(he)低噪(zao)音3軸(zhou)感(gan)應器(qi)使測量(liang)精(jing)度大幅提(ti)高(gao)。并(bing)且，通(tong)過SEM-AFM共享坐標樣(yang)品臺可輕松實現同一(yi)視野的相互觀察分析。

特點

1. 自(zi)動化功(gong)能

 高度集(ji)成自動化(hua)功(gong)能追求高效率檢(jian)測，降低檢(jian)測中的人為操(cao)作誤差(cha)

2. 可靠性

排除機械原(yuan)因造成的誤差，大(da)范(fan)圍水平(ping)掃描

采用(yong)管型掃描器(qi)的原(yuan)子力顯微鏡，針對(dui)掃描器(qi)圓(yuan)弧運(yun)動所產生(sheng)的曲(qu)面，通常(chang)通過(guo)軟(ruan)(ruan)件校(xiao)正(zheng)方式獲得(de)平面數據(ju)。但是，用(yong)軟(ruan)(ruan)件校(xiao)正(zheng)方式不能(neng)完全消除(chu)掃描器(qi)圓(yuan)弧運(yun)動的影(ying)響，圖(tu)片上(shang)經常(chang)發生(sheng)扭曲(qu)效果。

AFM5500M搭載(zai)了(le)最新研(yan)發的(de)水平掃描器(qi)，可實現(xian)不受圓弧(hu)運動影響(xiang)的(de)準確測(ce)試(shi)。

高精角度測量

普(pu)通的(de)原(yuan)子力顯微(wei)鏡所采用的(de)掃(sao)描器，在豎直伸縮(suo)的(de)時候，會發生(sheng)彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方(fang)向產生(sheng)形貌誤差的(de)直接(jie)原(yuan)因。

AFM5500M中搭載的全新掃描器，在豎(shu)直方(fang)向上不會(hui)發生(sheng)彎曲(qu)(qu)(crosstalk) ，可以得到水平方(fang)向沒(mei)有扭曲(qu)(qu)影響的正確圖像。

3. 融合性

親(qin)密融合其他檢(jian)測分析(xi)方式

通過SEM-AFM的(de)共享(xiang)坐標樣品臺，可(ke)實現在同(tong)一視(shi)野(ye)快(kuai)速的(de)觀(guan)察分析樣品的(de)表面形(xing)貌，結構，成分，物理特(te)性等。

上(shang)圖是AFM5500M拍攝的形貌(mao)像(xiang)(AFM像(xiang))和電位(wei)像(xiang)(KFM像(xiang))分別和SEM圖像(xiang)疊加的應用數據。

通過分析AFM圖像(xiang)可以判斷，SEM對比度表征(zheng)石墨(mo)烯(xi)層(ceng)的厚薄(bo)。

石(shi)墨烯(xi)層(ceng)數(shu)不同導致(zhi)表面電位(功函數(shu))的反差。

 SEM圖像(xiang)對比(bi)度不同(tong)，可以通過SPM的高精(jing)度3D形貌測量(liang)和(he)物理特性分析找到其原(yuan)因。

與其他顯(xian)微(wei)鏡(jing)以(yi)及(ji)分(fen)析儀(yi)器聯用正(zheng)在(zai)不斷開(kai)發中。

注：該儀器(qi)未取得中華人民共和(he)國醫療(liao)器(qi)械注冊證，不可用于臨(lin)床診斷或治療(liao)等(deng)相關用途