產品簡介
"Regulus系(xi)列"是日立高新技(ji)術的(de)FE-SEM的(de)全新品牌(pai)，包括作為(wei)SU8010的(de)后續機型(xing)開發的(de) "Regulus8100" 以及SU8200系(xi)列的(de)升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4個機型(xing)，均實現了分辨率和操作性(xing)的(de)強(qiang)化。
掃(sao)描電(dian)(dian)(dian)子顯微(wei)(wei)鏡(jing)（SEM）被廣(guang)泛(fan)(fan)應(ying)用(yong)于納(na)米技術，半導體(ti)?電(dian)(dian)(dian)子行(xing)業，生命科學(xue)，材(cai)(cai)料(liao)科學(xue)等領域(yu)的(de)(de)(de)材(cai)(cai)料(liao)結構觀察。近年來，新一代(dai)的(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)子器件(jian)應(ying)用(yong)中受到廣(guang)泛(fan)(fan)期(qi)待(dai)的(de)(de)(de)新型碳材(cai)(cai)料(liao)，高分子材(cai)(cai)料(liao)，復合材(cai)(cai)料(liao)等的(de)(de)(de)研(yan)究作為先進科學(xue)技術的(de)(de)(de)中堅技術，在(zai)(zai)全世界(jie)范圍內受到熱捧。掃(sao)描電(dian)(dian)(dian)子顯微(wei)(wei)鏡(jing)廣(guang)泛(fan)(fan)用(yong)于這些材(cai)(cai)料(liao)的(de)(de)(de)觀察?評價，但僅僅具有超高分辨率還(huan)(huan)遠遠不夠。還(huan)(huan)要求能在(zai)(zai)低加速電(dian)(dian)(dian)壓下對(dui)表(biao)面細(xi)微(wei)(wei)結構的(de)(de)(de)觀察和高靈敏(min)度的(de)(de)(de)元素分析。除(chu)此之外，在(zai)(zai)長(chang)期(qi)的(de)(de)(de)研(yan)究過程中還(huan)(huan)追求電(dian)(dian)(dian)鏡(jing)的(de)(de)(de)性(xing)能的(de)(de)(de)持續穩定和信(xin)賴(lai)性(xing)。
本次發布的新品牌 "Regulus系列" 電子光學系統進行了最優化處理，使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20％。"Regulus8220/8230/8240"達到0.9nm，"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率。另外，最適合低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節放大，并獲得高質量的圖片。最大放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。
除此之外，為了能更好的應對不同樣品的測試和保持并發揮出高性能，還對用戶輔助工能進行了強化，如信號檢測系統的操作輔助功能，維護輔助功能等。
主要特點
搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍
跟前代機型相比分辨率大約提高了20%（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）
最大倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍*¹
用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能完全發揮出來
主要參數
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名稱 |
Regulus8100 |
Regulus8240/8230/8220 |
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二次電子分辨率 |
0.8 nm（加速電壓 15 kV） |
0.7 nm（加速電壓 15 kV） |
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1.1 nm（著陸電壓 1 kV）*² |
0.9 nm（著陸電壓 1 kV）*² |
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加速電壓 |
0.5~30 kV |
0.5~30 kV |
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著陸電壓*² |
0.1~2 kV |
0.01~20 kV |
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倍率 |
20~1,000,000倍*³ |
20~2,000,000倍*³ |
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馬達臺控制 |
3軸自動*? |
5軸自動 |
*¹ 僅限 Regulus8240/8230/8220
*² 減速模式觀察
*³ 127 mm × 95 mm 視野的畫(hua)面(mian)倍(bei)率
*? 5軸馬達臺為選配(pei)項
注：該儀器未(wei)取得中(zhong)華(hua)人民共和國醫療器械注冊證，不可(ke)用(yong)于臨床(chuang)診斷或(huo)治療等相關用(yong)途(tu)
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