UNHT³ 高精(jing)度(du)超納(na)(na)米壓(ya)痕測(ce)試儀采用(yong)真實力傳感器和(he)位移傳感器，可用(yong)于測(ce)量(liang)材料(liao)在(zai)納(na)(na)米尺(chi)度(du)下(xia)的(de)機械性能。UNHT³ 采用(yong)獨(du)特的(de)主動表面參比專(zhuan)利(li)技(ji)術，消除了熱漂(piao)移和(he)框架(jia)剛度(du)的(de)影響。因(yin)此，非常適(shi)(shi)用(yong)于對所有類型的(de)材料(liao)（包(bao)括聚(ju)合物(wu)、納(na)(na)米涂層和(he)軟(ruan)組織）進(jin)行原子到納(na)(na)米尺(chi)度(du)的(de)長時(shi)間測(ce)量(liang)。對于極(ji)低或極(ji)溫度(du)下(xia)的(de)測(ce)量(liang)，真空室版(ban)本 (UNHT³ HTV) 適(shi)(shi)用(yong)于 -150℃ 至(zhi) 800℃ 的(de)溫度(du)以及(ji)低至(zhi) 10-7 mbar 的(de)真空度(du)。
型號: 超納米壓痕測試儀：UNHT³ Standard
•環(huan)境條件(jian)下的測量
•從室溫至 200℃ 的(de)可變溫度測試
型號: 超納米壓痕測試儀：UNHT³ HTV
•真空環境可(ke)更好(hao)地(di)控制(zhi)加熱(re)，并保護壓痕(hen)針尖和樣品免受(shou)氧化
•全自動程序，可將熱漂移降至最(zui)低
•從(cong) -150℃ 至(zhi) 800℃ 的可(ke)變(bian)溫度測試
•真空度低(di)至 10-7 mbar
最精確的納米壓痕測試儀
UNHT³ 可測量他人估計的結果：兩個獨立(li)的位(wei)移(yi)和載荷傳感器可真(zhen)正(zheng)可靠(kao)地控(kong)制力和壓入(ru)深度。另外，UNHT³ 采用獨特的主(zhu)動表(biao)面(mian)參(can)比專利設計：參(can)考參(can)比針尖記錄樣品的表(biao)面(mian)位(wei)移(yi)位(wei)置(zhi)，同時針尖壓痕完(wan)成(cheng)測量，以(yi)此扣除熱(re)漂(piao)移(yi)和框架(jia)剛(gang)度影響。這種獨特的設計支(zhi)持大(da)范圍的壓入(ru)位(wei)移(yi)（從幾(ji) nm 到(dao) 100 μm）和壓入(ru)載荷（從幾(ji) μN 到(dao) 100 mN）。
市場上穩定性最高的納米壓痕測試儀
UNHT³ 采用獨(du)特(te)的主動表面參(can)比專(zhuan)利技術和無熱膨脹的 Zerodur 材質(zhi)，是市面上唯一一款(kuan)無需任何位移(yi)校正且(qie)熱漂移(yi)低至(zhi)可忽略不計 (10 fm/sec) 的納米(mi)壓痕測試(shi)儀。憑借獨(du)特(te)的穩定性，UNHT³ 是唯一可用來長期(qi)測量(liang)蠕(ru)變等測試(shi)的納米(mi)壓痕測試(shi)儀。
高效率和測量速度（每小時測量 >600 次）
借助該儀器獨(du)特的(de)熱穩(wen)定(ding)性，樣品在安(an)裝(zhuang)后即刻便(bian)能進行測(ce)量(liang)，不(bu)必(bi)等待數小時以便(bian)其(qi)達到(dao)熱穩(wen)定(ding)狀(zhuang)態。因此，每(mei)天可(ke)單獨(du)測(ce)量(liang)許多(duo)樣品。使用“快(kuai)速(su)點陣”模式，每(mei)小時可(ke)通過真(zhen)實的(de)壓(ya)痕(hen)曲(qu)線和 600 多(duo)個壓(ya)痕(hen)。另外，用戶配置、測(ce)量(liang)模式、多(duo)樣品測(ce)量(liang)和可(ke)定(ding)制報告也(ye)促使其(qi)成為市面(mian)上效率最高的(de)儀器。
通過“Sinus 動態測量模式”進行其他動態機械分析 (DMA)
使用(yong)集成的“Sinus 動態(tai)測量(liang)模(mo)式”，可以對機械特(te)(te)性進行(xing)位(wei)移曲線 DMA 分(fen)析(xi)（HIT、EIT 對比位(wei)移），并可測量(liang)薄(bo)膜到塊(kuai)狀(zhuang)材料等(deng)樣(yang)品的粘(zhan)彈特(te)(te)性（E'、E''：儲能(neng)和損耗模(mo)量(liang)、tan δ）。Sinus 動態(tai)測量(liang)模(mo)式還(huan)提供其他功能(neng)，例如(ru)壓(ya)痕儀快速校正(zheng)以及(ji)應(ying)力(li)/應(ying)變分(fen)析(xi)。
在高真空和高達 800℃ 的高溫下進行測量
UNHT³ 的 HHT 版本是唯一一款配備全自動程序的超納米壓痕儀，可將熱漂移降至最低，在整個溫度范圍內實現熱漂移 <3 nm/min。這是通過獨特的專利加熱控制系統來實現的，該加熱控制系統以 0.1℃ 的精度同時控制樣品和壓痕針尖溫度。壓痕軟件控制加熱和環境條件，并與系統實時交互，以最大限度地減少熱漂移，并啟動所有所需的測量。您可以計劃一組具有不同溫度步長的任何類型的壓痕（也可使用標準 UNHT³），儀器會根據預設矩陣自動進行測量。
技術規格
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最大(da)載荷 [mN] |
50 / 100(1) |
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載荷(he)分辨率 [nN] |
3 |
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載荷背底噪聲 [rms] [μN] |
≤0.05 |
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加載速度 [mN/min] |
最多 1000 種 |
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深度量程 [μm] |
50 / 100(1) |
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深度分辨率 [nm] |
0.003 |
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深度背底噪聲 [rms] [nm] |
≤0.03 |
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數據采集頻率 [kHz] |
192 |
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選件 |
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加熱(re)臺的溫度可高達 200℃ |
? |
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最低冷卻至 -120℃ (2) |
? |
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液體測(ce)試(shi) |
? |
(1) 可選(2) 帶環境腔體
專利：UNHT³ 的主動表面參比技術(shu)：US 7,685,868 B2
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